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以乙醇为溶剂的喷雾热解法制备FTO薄膜及其性能研究

杨燕珍;吴玉程;张志海;崔接武;史成武

  采用喷雾热解法,以四氯化锡和氟化铵为前躯体、乙醇为溶剂的溶液体系,采用喷瓶为雾化装置,在不同加热温度的载玻片衬底上,制得光电性能良好的氟掺杂二氧化锡(F:SnO_2,FTO)透明导电薄膜。通过多组实验,重点研究了喷涂次数、衬底温度、四氯化锡浓度、氟化铵浓度对FTO薄膜光学和电学性能的影响。……