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快速沉积链状碳纳米管薄膜及场致电子发射特性

姚宁;王执乾;邢宏伟;李全友;秦玉华;张兵临;王英俭

  以镀有Ti层的Al_2O_3为衬底,在微波等离子体化学气相沉积系统中,以CH_4和H_2为反应气体,快速制备了碳纳米管薄膜(沉积时间仅1min)。通过SEM、TEM和Raman光谱观察了薄膜的表面形貌,分析了薄膜的微观结构。结果表明,高密度、分布均匀、缺陷多、锥形的链状碳纳米管在衬底上生长。在高真空室中测试了薄膜场发射特性,其开启电场为1.66V/μm,在3.33V/μm电场下,其场发射电流密度达到4.0mA/cm~2,发射稳定,是一种比较有前途的场发射冷阴极材料。……