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射频溅射制备氧化镍电致变色薄膜的研究

刘化然;阎刚印;刘芳;盛英卓;冯博学

  采用射频反应磁控溅射工艺,以纯镍靶为靶材,在 SnO_2玻璃上制备电致变色 NiO_x 薄膜。通过对薄膜 X 射线衍射(XRD)、X 光电子能谱(XPS)、扫描隧道显微镜(STM)、循环伏安曲线及可见光透过率的测定, 探讨了 NiO_x 薄膜的电致变色性能和微观结构之间的关系,研究了热处理过程中的结构变化和表面形貌。测试表明该氧化镍薄膜具有良好的电致变色性能和阳极着色效应,以及较高的使用寿命.……