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一种基于圆度仪的平行度、平面度测量方法

杨维川;王宝瑞;袁道成

  高精度坐标测量机单轴测量不确定度U95一般约为0.6μm,加上导轨直线度误差,则坐标测量机对平行度、平面度测量的扩展不确定度U95约在1μm。等厚干涉仪可解决高精度的平面度测量问题(如平晶的检定),但平行度却缺乏更高精度的测量方法,并且当测量须针对零件端面上的特定点位时,等……   
[关键词]:圆度仪;测量方法;平行度;平面度测量
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《中国工程物理研究院科技年报(2003)2003年
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