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石英玻璃塑性域ELID磨削加工的研究

顾金泉;李东春;高祀建;孙明武;刘世民

  为了使石英玻璃具有高的平整度从而用于光学信息传递系统,采用ELID对石英玻璃进行超精磨削,并利用原子力显微镜观察测定其表面形貌及粗糙度,进而优化调整在线电解磨削参数,确定出石英玻璃的磨削加工塑性域,获得优质石英玻璃加工表面。……   
[关键词]:石英玻璃;ELID;磨削;塑性域
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《华北地区硅酸盐学会第八届学术技术交流会论文集2005年
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