手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

  由于SOI材料具有自隔离,体漏电小,寄生电容小,抗辐射,无体硅闩锁效应等特点,被公认是21世纪替代体硅的新型信息材料。本文主要简要地介绍了SOI材料的主要性能特点以及国内外SOI材料制备的几种主要方法。并指出Smart-cut SOI技术集SIMOX技术和BESOI技术的优点于一体。……   
[关键词]:SOI;Smart-cut;SIMOX;SDB
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《华北地区硅酸盐学会第八届学术技术交流会论文集2005年