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虚拟基准法——高精度形状误差测量的好方法

洪迈生

  在对被测工件进行高精度形状误差如圆度、直线度、平面度、圆柱度、球度等测量时,多使用相对(比较)测量法。此时必须同时具备两项条件:高精度、高分辩率的传感器和用以比较的高精度基准件(如标准球、基准尺、基准平面等)。时下高精度、高分辨率的传感器发展得很快:线位移……