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MOCVD反应器内部气体流动模拟分析

陈燕

  以金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积CaN为对象,建立了反应器内部数学模型。通过应用GAMBIT 软件划分复杂模型的基础上,对新颖的反应器的输运过程进行了二维数值模拟的研究,计算了反应器中流场的分布。根据对模拟结果的分析可知:在低于常压和反应器进口距加热器距离较小的工况下,反应器内的输运过程比较稳定,满足制各薄膜所需的层流特征。……   
[关键词]:MOCVD;数学模型;流场;数值模拟
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《第四届全国流体传动与控制学术会议论文集2006年