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大气压射频介质阻挡放电制备二氧化钛光催化薄膜的研究

常大磊;李小松;底兰波;杨晋华;徐勇;朱爱民

  二氧化钛薄膜作为一种重要功能薄膜材料,在半导体光催化、太阳能电池、空气净化等领域有着广泛的应用前景。在现有二氧化钛薄膜的沉积技术中,等离子体化学气相沉积(PCVD)因其具有沉积温度低、反应参数容易控制等优点而被大量采用。但PCVD技术多数都是在低气压下进行,需要昂贵的真空系统以及复杂的操作过程。为了克服PCVD技术中存在的上述缺点,大气压介质阻挡放电成为目前研究热点。……