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射频大气压介质阻挡放电等离子体特性的实验研究

王森;乐沛思;李果;李和平;包成玉

  近年来,由于射频大气压辉光放电等离子体源具有均匀、稳定、活性粒子浓度高等特点,其在等离子体刻蚀、表面沉积、消毒灭菌、微生物诱变育种等领域的研究受到了国内、外研究者的广泛关注。获得大气压射频辉光放电等离子体既可以采用裸露金属电极结构,也可以采用金属表面覆盖介质层的电极结构。研究表明,采用介质阻挡电极结……