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铝电极箔比容技术取得突破

宋跃 王祥明

  本报讯 记者宋跃 王祥明报道:电子科技大学微电子与固体电子学院微组装与新型元器件技术研究室于近期突破提高铝电极箔比容的技术瓶颈,首次提出了一种采用“纳米复合”高介电常数铝氧化膜生长技术,大幅度提高铝电极箔比容,并在试验室形成了成熟工艺。铝电解电容属于……