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工程科技I辑
芯片制造工艺突破0.01微米
吉纳
据报道,韩国一家从事半导体工艺的研究机构日前宣称,他们发明了一种新的芯片制造技术,该技术能使半导体芯片生产成本大幅降低。该机构的负责人韩国国立大学HongH.Lee教授介绍,目前被广泛使用的光电子影印技术还不够完美。通过加热半导体材料表面使其软化,再用电路……
[关键词]:
芯片制造
;
微米
;
半导体芯片
;
纳米
;
半导体工艺
;
国立大学
;
半导体材料
;
室温环境
;
研究机构
;
模板
[文献类型]:报纸
[文献出处]:
《中国电子报 》2002年07月12日
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