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半导体设备行业获政策支持 国产化初见曙光

许琳

  半导体制造是指根据设计出的电路板图,通过炉管、湿刻、淀积、光刻、干刻、注入、退火等不同工艺流程,在半导体晶圆基板上形成元器件和互联线,最终输出整片实现功能及性能要求的晶圆片。半导体制造工艺复杂,需使用种类繁多的半导体设备完成生产流程各个环节。……   
[关键词]:半导体设备;半导体制造;市场占有率;制程技术;晶圆厂;集成电路生产线
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《中国城市金融2019年08期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)