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温度自补偿微波测厚传感器的研制

杨进成

  根据介质微扰腔体的原理,研制了一种用于无接触测量可塑性薄膜厚度和具有温度?补偿的新型微波传感器。文中阐述了实现温度自补偿的方法并导出了公式,实验结果表明:分析的主要误差与直接测量(0.0012μm/℃)非常吻合,量程为0—100μm,分辨为<0.2μm。……   
[关键词]:温度自补偿;微波;测厚传感器
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《厦门大学学报(自然科学版)1988年02期