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微扰法测量介质陶瓷薄膜的介电特性

金浩;董树荣;王德苗;谢银芳

  对于介质陶瓷薄膜 ,特别是厚度小于 1μm的介质陶瓷薄膜 ,我们提出了一种新的基于微扰理论的测量方法 ,本文对该方案进行了理论推导 ,获得了计算介质陶瓷薄膜复介电常数和Qf的公式 ,并设计了实际的测试方案 ,以具体的介质陶瓷薄膜作了测试验证和误差分析。结果表明 ,该方案是可行的 ,测量结果具有较高的精度 ( 7% ) ,最后提出了对系统的改进方案……   
[关键词]:介质陶瓷薄膜;复介电常数;微扰
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微波学报2003年03期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)