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共焦扫描系统的光外差探测

魏高尚;张平;吴震;向际鹰

  提出了一套新颖扫描成像系统方案,它综合了共焦扫描方式与光外差探测方法的优点.该系统具有μm级的纵向层析分辨率能力,且能大大改善对低反射试样或较厚试样的深层扫描成像的图像质量.对其成像机理、光学特性进行了分析.……   
[关键词]:共焦;扫描;显微;光外差探测
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《华中理工大学学报1998年03期