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电子束法沉积 ITO 透明导电膜的研究

史济群;周京英;马稚尧;马洪磊

  论述了ITO膜的导电机理及生长机理,讨论了电子束加热真空蒸镀ITO膜的方法中,膜的组分、氧分压、衬底温度和蒸发速率等几个参数对ITO膜光电性能的影响.在选择合适的工艺条件下制备ITO膜,电阻率约4×10-4Ω·cm,可见光范围内平均透过率高于90%.……   
[关键词]:ITO膜;电子束;氧空位;蒸汽分压
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《华中理工大学学报1998年03期