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电子束蒸发 WO_3-基气敏薄膜特性的研究

丘思畴;陈涛;吴正华;黄汉尧

  介绍了用电子束蒸发制作WO3气敏薄膜、溅射掺Au、膜的热处理工艺以及对H2S气体的敏感特性测量的初步结果.着重讨论了WO3膜的稳定化过程.……   
[关键词]:金属氧化物半导体;气敏元件;电子束蒸发;WO_3薄膜
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《华中理工大学学报1998年03期