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纳米铝表面超薄氧化层厚度的表征研究

吴旌贺;李永;史小波;赵先林

  对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算超薄氧化铝厚度的方法,并结合高分辨透射电镜、X射线衍射仪等多种表征手段进行验证.结果表明该方法具有简单、准确等优点.……   
[关键词]:纳米铝粉;表征方法;Al2O3薄膜;厚度测量
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《河南教育学院学报(自然科学版)2010年04期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)