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一种具有低折射率的高对比度光栅反射镜的设计

谢检来;郝永芹;张家斌;晏长岭;马晓辉;王志伟;王霞

  设计并研究了一种工作于2μm波段的Ga Sb基亚波长高对比度光栅反射镜,其具有低折射率光栅层结构。通过严格耦合波理论优化结构,以最大限度地满足VCSEL腔面反射镜对反射率带宽的要求。反射镜对2μm波段的TM模式具有优良的反射效率,带宽与设计波长之比达15%(反射率R>99%),在反射率R>99.9%的部分Δλ/λ_0>9.5%,带宽中心波长为2.003μm,与此同时TE模的反射率不超过70.20%。该反射镜结构中几个参数的制作容差较大,且厚度低于1.1μm,有利于在垂直腔面发射半导体激光器上的单片集成。……   
[关键词]:亚波长光栅;反射镜;垂直腔面发射激光器;GaSb
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《发光学报2018年06期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)