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Si/SiO_2高对比光栅参数对反射率的影响

李秀山;宁永强;张星;贾鹏;陈泳屹;秦莉;刘云;王立军

  为解决850 nm波长VCSEL表面的Ga As/空气材料的高对比亚波长光栅(HCGs)稳定性差的问题,设计了基于Si/Si O2材料的高对比亚波长光栅。研究了850 nm波长高稳定、高反射率(>99.5%)的高对比亚波长矩形光栅参数的变化对反射率的影响。利用有限元分析软件计算了Si/Si O2高对比亚波长光栅的高度、填充因子、周期、刻蚀深度及光栅倾角等各个参数的变化对850 nm的反射率影响。计算结果表明:当波长为850 nm的TE光从Si O2正入射到矩形HCGs且只有在光栅的倾角大于88°的小范围内变化时,HCGs的反射率才大于0.995,而光栅的其他参数对HCGs反射率的影响可以忽略不计。……   
[关键词]:光栅;高对比亚波长光栅;高反射率;有限元分析
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《发光学报2015年07期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)