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硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法

蒋小燕;徐大诚;杨成;谢维钦;王文襄

  利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿。传感器的输出精度达到了0.275%。……   
[关键词]:压阻式压力传感器;信号调理;软件补偿
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《传感器与微系统2006年01期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)