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金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理

徐毓龙;曹全喜;周晓华

  根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性.……