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Al_2O_3或TiO_2掺杂的ScSZ固体电解质纳米晶薄膜的制备及表征

张亚文;杨宇;金舒;田曙坚;李国宝;贾江涛;廖春生;严纯华

  利用溶胶凝胶旋涂法 ,在单晶硅基片 (10 0 )上分别制得了厚度约为 031μm的(Al2 O3) 0 .10 (Sc2 O3) 0 .0 8(ZrO2 ) 0 .82 和 036 μm的 (Sc2 O3) 0 .12 5(TiO2 ) 0 .175(ZrO2 ) 0 .70 固体电解质纳米晶薄膜。烧结实验结果表明 ,两种薄膜均在 6 50℃以上开始晶化 ,温度越高 ,晶化越完全 ,在 80 0℃可完全晶化 ;所得纳米晶颗粒呈纯的萤石结构立方相 ;铝和钛掺杂的纳米晶颗粒的平均大小分别为4 7和 51nm。铝掺杂的薄膜非常均匀致密 ,然而 ,钛掺杂的薄膜存在少量微气孔……   
[关键词]:铝或钛掺杂的氧化钪稳定的氧化锆;纳米晶薄膜;SolGel制备;表征
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《北京大学学报(自然科学版)2001年02期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)