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MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计

金磊;高世桥;李文杰

  讨论了微机电固态引信核心子系统 (即微传感器系统 )的设计和分析 ,并针对典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法……   
[关键词]:微机电系统;微传感器;固态引信
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《兵工学报2000年S1期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)