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双光子激光三维微细加工及信息存储技术

袁大军;周拥军;蒋中伟;黄文浩;夏安东;褚家如;刘允萍

  利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储。文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统 ,以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况 ,给出了部分利用已建立的加工系统所获得的初步实验结果……   
[关键词]:双光子激发;飞秒激光器;三维微细加工;三维光学信息存储
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2003年Z1期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)