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国外电子气体技术进展

梁国仑;余京松

  论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。……   
[关键词]:电子气体;集成电路;气体分析仪;粒子计数
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《半导体技术2001年02期