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TiN涂层表面氧化层研究

王永康;夏立芳

  在高速钢表面沉积TiN涂层,运用SEM、XRD和XPS方法研究了TiN涂层表面氧化物特征,并从热力学和晶体学上探讨了氧化物形成机理。结果表明,TiN表面氧化物为TiO_2,厚度约为60nm,它由吸附的氧通过TiN略作畸变而形成。……   
[关键词]:物理气相沉积;TiN涂层;表面分析
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《兵器材料科学与工程1992年07期