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专家PID温度控制在高真空磁控溅射镀膜机中的应用研究

范程华;朱武

  高真空磁控溅射镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,温度控制的好坏直接影响到成膜质量。本文研究了专家PID算法的原理和实现方法,并将其应用到温度控制系统中;就常规PID算法和专家PID算法在温度控制上的应用开展了仿真比较;设计和实现了基于专家PID算法的高真空磁控溅射镀膜机温度控制系统。事实表明,基于专家PID算法的温控系统可以对镀膜室温度实现很好的控制。……   
[关键词]:温度控制;专家PID;参数整定
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《合肥师范学院学报2009年03期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)