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用于近场光学显微镜的光纤探针的研制

徐凯

  近场光学显微镜(NSOM)突破了传统光学显微镜分辨率衍射极限,使人们可以用光学方法在小于亚微米的尺度上观察和研究物体的外观形貌和内在性质,为科学、技术和生产的发展提供了新的手段和知识。本文围绕着近场光学显微镜的关键部件——光学探针加以论述。介绍了多种不同光学探针的特性与制作工艺,重点阐述我们提出并发展的一种双功能弯曲光纤探针制作工艺,即“热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合”的制作技术,并将双功能弯曲光纤探针应用于我们新开发的原子力/光子扫描隧道显微镜AF/PSTM系统中,可同时获得样品的光学与形貌图像,实现图像分解。……   
[关键词]:近场光学显微镜;衍射极限;光学探针;热拉伸;化学腐蚀
[文献类型]:硕士论文
[文献出处]:大连理工大学2003年