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基于遗传算法的平面双稳态柔性MEMS的优化设计

李团结;朱敏波;文群燕

  本文讨论一种平面双稳态柔性MEMS的设计问题。首先给出机构稳定平衡位置的物理舍义,柔性机构中常用的两种柔性单元及其相应伪刚体模型,建立两种类型平面双稳态柔性MEMS的伪刚体模型。提出一种允许随意指定稳定平衡位置点的具有较大自由度的优化设计方法,建立优化数学模型及相应约束准则,采用改进的遗传进化算法获得全局最优解。根据所得最优解对双稳态柔性MEMS进行分析,结果表明该设计方法有效。……