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经强束流金属离子注入的几种钢的表面结构和成分

杨建华;张通和

  采用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲Ti、Mo、W、Ta离子对C12、H21、H13钢进行了离子注入研究.注入剂量为3×10~(17)~5×10~(17)cm~(-2),引出电压为25~48kV,平均束流为25~50μA·cm~(-2).利用卢瑟福背散射谱(RBS)测量了注入表面的成分,借助X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)考察了注入样品的微观结构.……   
[关键词]:离子注入;;表面成份;微观结构
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集2001年