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双层辉光等离子体放电光谱诊断

边心超;张跃飞;陈强

  等离子体电子激发温度是等离子体重要参数之一,其研究对材料表面改性过程中的实时监控具有非常重要的意义。本实验以氩气为工作气体,利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行了诊断。气体放电中的光谱发射谱线是与等离子体的电子激发温度有关的,本实验选择了650~800nm范围Ar原子谱线,以玻尔兹曼方程为依据,采用多线——斜率法对等离子体电子激发温度进行了估算。实验中研究了工件电压、源极电压、工作气压等工艺参数对电子激发温度的影响。实验结果表明,对于等离子体参数诊断来说,发射光谱法是一种实时、在线、原位、对体系没有扰动的良好的诊断手段。……